01.07.2011
Polovodičové součástky - Část 1: Zkouška časově závislého průrazu dielektrika pro intermetalické vrstvy. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
88688
8590963886886
Tato norma popisuje zkušební metodu, zkušební strukturu a metodu pro odhad životnosti pro zkoušku časově závislého dielektrického průrazu (TDDB) pro intermetalické vrstvy vytvořené pro polovodičové součástky